 英國RENISHAW光柵測(cè)量系統(tǒng)：
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Renishaw提供品種繁多的緊湊型光柵，以滿足不同行業(yè)的需求。雷尼紹光柵系統(tǒng)的成功開發(fā)是基于其**的非接觸式光學(xué)結(jié)構(gòu),這種設(shè)計(jì)在實(shí)現(xiàn)**測(cè)量、高分辨率和零機(jī)械磁滯的同時(shí)，有很強(qiáng)的抗污能力，如灰塵、輕度油漬和劃痕而不影響信號(hào)的完整性。這些都確保用戶的機(jī)器運(yùn)行可靠而不需過多的維護(hù)。不僅如此，Renishaw的光柵系統(tǒng)還以其易于安裝響譽(yù)業(yè)界。鍍金的光柵尺可被靈活地剪至所需長度以適應(yīng)不同的軸長（*長可達(dá)70米），其背面自粘的特別設(shè)計(jì)使得安裝時(shí)無需鉆孔和螺釘壓緊，從而節(jié)省了時(shí)間和成本。所有讀數(shù)頭和接口都有獲得**的LED安裝狀態(tài)指示燈監(jiān)控，而無需示波器及其它復(fù)雜的安裝監(jiān)控裝置，這樣也節(jié)省了時(shí)間和成本。
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Renishaw光柵測(cè)量系統(tǒng)可以應(yīng)用在三坐標(biāo)測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)、裝配測(cè)試、運(yùn)動(dòng)控制、電子設(shè)備、半導(dǎo)體制造和測(cè)量、醫(yī)療設(shè)備、印刷掃描、儀器設(shè)備、超高精度機(jī)器和裝置等高精度高要求領(lǐng)域。
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產(chǎn)品分類：
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 RG2 直線光柵系列
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RG4 直線光柵系列
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RESR 圓光柵系列
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一、RG2 直線光柵系列
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20 um直線光柵－技術(shù)
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20 um 柵距的 RG2 系列光柵測(cè)量性能優(yōu)異、可靠性強(qiáng)、易于使用，廣泛應(yīng)用于各種測(cè)量場(chǎng)合。分辨率從 5 μm 到 10 nm，速度可達(dá) 8 m/s。
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技術(shù)指標(biāo)
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RG2 是開放式的非接觸光學(xué)系統(tǒng)，能夠消除摩擦和磨損，可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。即使在車間環(huán)境使用，其**的光學(xué)濾波系統(tǒng)也能確保極好的信號(hào)穩(wěn)定性。
所有類型的讀數(shù)頭均具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬或數(shù)字信號(hào)輸出：模擬信號(hào)為 20 μm 的周期，數(shù)字信號(hào)的分辨率從 5 μm 到 50 nm。所有系統(tǒng)均配有**的內(nèi)置安裝狀態(tài)指示燈，如果安裝正確則綠燈亮。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開關(guān)。參考零位提供可重復(fù)的起始位置，而限位開關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。RGH22 讀數(shù)頭也有雙限位開關(guān)選項(xiàng)，在行程的兩端提供各自的信號(hào)輸出。
紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面，然后通過透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。
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該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì) 80 條以上的條紋進(jìn)行均分的技術(shù)，有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下，也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。
熱膨脹特性經(jīng)常是決定整體測(cè)量精度的重要因素。RGS20 光柵尺在端部緊固，因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致，無須對(duì)不同的膨脹系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。
獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差，周期誤差（即細(xì)分誤差）通常小于 ±0.15 μm。線性誤差特性為每 60 毫米 ±0.75 μm，或任意每米 ±3 μm。
RGS20 鍍金鋼帶光柵尺表面涂漆，便于使用和維護(hù)。背面自帶不干膠，安裝簡單快捷；對(duì)于各種型號(hào)的讀數(shù)頭，有不同的安裝工具可供選擇。光柵尺成卷供貨，用戶可根據(jù)需要任意裁剪，便于庫存管理。
借助專用安裝工具，通過機(jī)器軸運(yùn)動(dòng)保證**準(zhǔn)直，可快速安裝光柵尺。
只要把參考零位、限位開關(guān)和端壓塊粘到相應(yīng)的位置，就可完成安裝。
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特點(diǎn)
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● 高速、可靠的非接觸式特性適用于現(xiàn)今工廠自動(dòng)化生產(chǎn)對(duì)高速度的要求。
● 零磨擦和零機(jī)械磨損。
● 開放式光學(xué)系統(tǒng)可抵御大多數(shù)自動(dòng)化生產(chǎn)環(huán)境中的污染。
● 成卷供貨的光柵尺可被方便地“剪至所需”（*長可達(dá)70m），不需儲(chǔ)備不同長度的光柵尺。
● 獲得**的光柵尺安裝器，有助于實(shí)現(xiàn)快速簡便的安裝。
● 內(nèi)置式安裝指示燈：綠燈亮?xí)r表示安裝正確；無需示波器或?qū)ｉT的安裝裝置。
● 雙限位開關(guān)具有****的指示軸向運(yùn)動(dòng)停止點(diǎn)的功能。
● ****的光柵尺與基體的熱匹配。
● 結(jié)構(gòu)緊湊的讀數(shù)頭具有集成的內(nèi)置細(xì)分電路，有系列模擬和數(shù)字信號(hào)輸出，分辨率從5 μ m 到10nm RG2 讀數(shù)頭采用的**技術(shù)集成了其靈活、用戶友好的特點(diǎn)，同時(shí)具有優(yōu)異的測(cè)量性能。****的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的制造廠商都信任RG2。在他們的很多機(jī)器上都能看到令人熟悉的金黃色條狀光柵尺。
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產(chǎn)品分類
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RGH22
● 緊湊而堅(jiān)固的外殼
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.1μm 到50nm
● 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
● 高柔性雙屏蔽12 芯電纜或帶狀電纜可選
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出
● 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
● 也可提供5μm，1μm，0.5μm (RGH26)與Mitsubishi Melservo.-J2-Super 兼容的產(chǎn)品
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RGH24
● 小巧而堅(jiān)固外殼
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm 到50nm不等
● 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
● 高柔性雙屏蔽8芯電纜
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)輸出
● 14.8mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
● 可提供JST連接器
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RGH25
● 超小而堅(jiān)固外殼
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 外置細(xì)分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm，50nm，20nm和10nm
● 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
● 高柔性雙屏蔽8芯電纜
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)輸出
● 10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
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二、RG4 直線光柵系列
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40 μm 直線光柵－技術(shù)
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分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的鋼帶和玻璃光柵尺
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技術(shù)指標(biāo)
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RG4 系統(tǒng)采用的光學(xué)技術(shù)與 RG2 開放式非接觸光柵系統(tǒng)類似，保留了 RG2 的優(yōu)點(diǎn)，但也有明顯的區(qū)別，增添了一些新的優(yōu)點(diǎn)。
40 μm 柵距的 RG4 系統(tǒng)具有速度更快、安裝公差更大的特點(diǎn)，入射光的方向使用戶可選用各種類型的光柵尺。
RG4 系列產(chǎn)品有兩種讀數(shù)頭。RGH34 是結(jié)構(gòu)緊湊的芯片形讀數(shù)頭，通過扁形軟性電纜連接到一個(gè)小的 PCB 接口?？奢敵龉I(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號(hào)及分辨率從 10 μm 到 0.2 μm 的數(shù)字信號(hào)。系統(tǒng)中要么包含一個(gè)參考零位，要么包含一個(gè)限位傳感器，由Renishaw標(biāo)準(zhǔn)勵(lì)磁塊觸發(fā)。
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RGH41 和 RGH40 讀數(shù)頭為完全封裝型號(hào)，直接提供模擬信號(hào)輸出或分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的數(shù)字輸出信號(hào)。RGH41 讀數(shù)頭用于 RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺，而 RGH40 讀數(shù)頭專用于 RGS40-G 玻璃光柵尺。標(biāo)準(zhǔn)配置還包括磁性參考零位和雙限位輸出。以上兩種讀數(shù)頭都配有Renishaw**的安裝狀態(tài)指示燈。
RG4 使用的光學(xué)原理基本與 RG2 相同，不同之處在于，紅外發(fā)光二極管發(fā)出的光是從與光柵尺刻劃面成 90° 角反射到柵尺方向，而不是平行反射。
指示光柵與 RG2 位置相同，在檢測(cè)面產(chǎn)生正弦干擾條紋。
RG4 系列光柵的工作原理允許使用各種光柵尺，如：
1）RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺，表面涂漆，背面帶不干膠?？墒褂酶鞣N專用安裝工具，安裝簡單。
2）傳統(tǒng)的鍍鉻玻璃光柵尺也可用于要求長度較短、無需標(biāo)定精度的應(yīng)用場(chǎng)合。Renishaw RGS40-G 光柵尺以確定長度提供，*長可達(dá) 1 m。
3）用戶自制的反射式刻劃直線光柵和鋼基體的柱面光柵也可使用各種 RG4 讀數(shù)頭。
RG4 讀數(shù)頭繼承了 RG2 短周期誤差小的優(yōu)點(diǎn)，典型周期誤差為 ±0.25 μm。RGS40-S 光柵尺的線性誤差特性僅為每 60 毫米 ±1 μm，任意每米小于 ±3 μm。
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特點(diǎn)
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● 開放式光學(xué)系統(tǒng)可抵御大多數(shù)自動(dòng)化生產(chǎn)環(huán)境中的污染
● 高速、可靠的非接觸式特性適用于絕大多數(shù)工廠自動(dòng)化生產(chǎn)對(duì)高速度的要求
● 零磨擦和零機(jī)械磨損
● 寬松的安裝公差使得安裝快速、簡便并且可靠
● LED 安裝指示燈可簡化安裝
● 內(nèi)置式雙限位開關(guān)提供行程終點(diǎn)指示
● 讀數(shù)頭及組件有系列輸出供選
● 成卷供貨的光柵尺可被方便地“ 剪至所需”
● 模擬信號(hào)具備優(yōu)越的Lissajous 穩(wěn)定性
● 某些RG4 讀數(shù)頭還能應(yīng)用于刻劃或是鍍鉻的玻璃光柵上
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產(chǎn)品分類
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RGH41
● 讀RGS40-S金屬尺
● 緊湊而堅(jiān)固的外殼
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 內(nèi)置細(xì)分電路和安裝狀態(tài)指示燈
● 分辨率從10μm，5μm，2μm 到 1μm
● 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
● 高柔性雙屏蔽12 芯電纜
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出
● 17.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
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RGH34
● 讀RGS40-S金屬尺
● 與40μm RESR圓光柵尺兼容
● 極小緊湊型讀數(shù)頭單元及PCB式細(xì)分電路
● 質(zhì)量<2g
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 分辨率從10μm，5μm，2μm，1μm，0.4μm 到 0.2μm
● FPC電纜
● 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出
● 9.50mm×15.0mm×15.0mm (H×L×W) 僅讀數(shù)頭尺寸
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三、RESR 圓光柵系列
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Renishaw的高精度圓光柵系統(tǒng)有多種規(guī)格的直徑和刻線數(shù)供選擇，與標(biāo)準(zhǔn)控制器兼容。它實(shí)際上是結(jié)構(gòu)簡潔、在柱面上直接刻線的不銹鋼圓光柵；提供標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)和低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)，適用范圍廣泛。
RESR 圓光柵具有內(nèi)徑大的特點(diǎn)，因此體積輕薄，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量非常低。這意味著無論何時(shí)安裝，回轉(zhuǎn)軸定位都能達(dá)到*小扭矩和*大速度。
另外，由于內(nèi)徑大，電纜和氣路安裝更為容易。
雖然橫截面很薄，但絲毫不會(huì)影響測(cè)量精度。采用Renishaw具有**技術(shù)的錐面安裝方式，包括錐軸安裝面公差在內(nèi)的所有安裝公差均可調(diào)整到*佳狀態(tài)，并可通過簡單有效的精細(xì)調(diào)整來糾正跳動(dòng)或橢圓度。
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技術(shù)指標(biāo)
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許多應(yīng)用都取決于旋轉(zhuǎn)精度，RENISHAW的圓光柵系列提供了很好的解決方案。其系統(tǒng)精度可達(dá)0.7角秒，*高分辨率可達(dá)0.01角秒，重復(fù)精度可達(dá)0.01角秒，速度超過3000rpm。獨(dú)特的錐面安裝方式確保安裝快捷，精度高。外徑從52mm到413mm可供選擇。大內(nèi)徑，低慣量*大限度地滿足了不同用戶的要求。
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RESR(圓光柵)特性
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標(biāo)稱外徑
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RGH20 數(shù) 字 分 辨 率
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系統(tǒng) 精度
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5 um（x4）
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1 um（x20）
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0.5 um（x40）
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0.2 um（x100）
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0.1 um（x200）
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50 nm（x400）
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20 nm（x1000）
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10 nm（x2000）
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標(biāo)準(zhǔn)外徑
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75mm
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≈27.4〞
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≈5.5〞
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≈2.74〞
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≈1.10〞
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≈0.55〞
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≈0.27〞
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≈0.11〞
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≈0.055〞
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±3.9〞
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100mm
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≈20.6〞
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≈4.12〞
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≈2.06〞
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≈0.82〞
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≈0.41〞
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≈0.21〞
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≈0.082〞
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≈0.041〞
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±2.9〞
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150mm
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≈13.7〞
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≈2.75〞
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≈1.37〞
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≈0.55〞
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≈0.27〞
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≈0.14〞
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≈0.055〞
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≈0.027〞
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±1.9〞
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200mm
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≈10.3〞
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≈2.06〞
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≈1.03〞
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≈0.41〞
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≈0.21〞
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≈0.10〞
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≈0.041〞
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≈0.021〞
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±1.4〞
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300mm
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≈6.9〞
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≈1.37〞
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≈0.69〞
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≈0.27〞
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≈0.14〞
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≈0.069〞
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≈0.027〞
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≈0.014〞
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±1.0〞
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350mm
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≈5.9〞
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≈1.18〞
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≈0.59〞
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≈0.24〞
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≈0.12〞
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≈0.059〞
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≈0.024〞
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≈0.012〞
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±0.8〞
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2n(p/r)
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52mm
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32768
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163840
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327600
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819200
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1638400
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3276000
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8192000
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16384000
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±5.6〞
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104mm
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65536
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327680
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655360
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1638400
|
3276800
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6553600
|
16384000
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32768000
|
±2.8〞
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209mm
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131072
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655360
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1310720
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3276800
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6553600
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13107200
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32768000
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65536000
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±1.4〞
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按角度選擇
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57mm
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0.01°
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0.002°
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0.001°
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0.0004°
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0.0002°
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0.0001°
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0.00004°
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0.00002°
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±5.1〞
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115mm
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0.005°
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0.001°
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0.0005°
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0.0002°
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0.0001°
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0.00005°
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0.00002°
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0.00001°
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±2.5〞
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229mm
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0.0025°
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0.0005°
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0.00025°
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0.0001°
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0.00005°
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0.000025°
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0.00001°
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0.000005°
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±1.3〞
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按弧度選擇
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103mm
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20〞
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4〞
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2〞
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0.8〞
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0.4〞
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0.2〞
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0.08〞
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0.04〞
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±2.8〞
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206mm
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10〞
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2〞
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1〞
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0.4〞
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0.2〞
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0.1〞
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0.04〞
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0.02〞
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±1.4〞
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255mm
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8.1〞
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1.62〞
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0.81〞
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0.32〞
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0.162〞
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0.081〞
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0.032〞
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0.0162〞
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±1.1〞
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413mm
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5〞
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1〞
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0.5〞
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0.2〞
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0.1〞
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0.05〞
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0.02〞
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0.01〞
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±0.7〞
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注：光柵尺柵矩為 20 um.
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相關(guān)計(jì)算公式：
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每轉(zhuǎn)線數(shù)=π*D/(20um/1000)*細(xì)分倍數(shù)
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角分辨率=360*60*60/每轉(zhuǎn)脈沖數(shù)
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RGH20
● 與20μm 柵距RESR 圓光柵兼容
● 光學(xué)濾波系統(tǒng)提供優(yōu)異的抗污跡能力
● 小巧堅(jiān)固的外殼
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號(hào)輸出
● 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED 指示燈
● 分辨率從5μm ，1μm，0.5 μm ， 0.1μm，50nm，20nm 到10nm
● 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
● 高柔性雙屏蔽8 芯電纜
● 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出
● 14.8mm（或10.5 mm ）×36. 0mm×13.5mm (H×L×W)
● 可選高真空兼容型
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